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汪涛: 毫厘之间见功夫
发布日期: 2018- 10- 23 08: 47 浏览次数: 字体:[ ] 信息来源: 余姚日报

能力的高低并不完全是由学历决定的,这句话用在汪涛的身上绝对合适。在博士、硕士等高学历人才如云的宁波江丰电子材料股份有限公司,从市技工学校毕业的汪涛凭借他在技术上过硬的“两把刷子”一路“开挂”,从一名生产一线员工成长为公司技术中心副总监兼新品试制课课长。

  江丰电子的主打产品是“超大规模集成电路制造用溅射靶材”,从外观上看,靶材就像一块直径20—60厘米的“大饼”,其原料是铝、铜、钛、钽等金属材料。2005年8月,刚从学校毕业的汪涛作为公司首批招聘的员工进入江丰电子,那时的他别说是靶材实物,就是名称也是第一次听说。在经历了钳工、普车工、数控车工等多岗位锻炼后,汪涛进入靶材环件的开发、制造团队。

  环件就像是包围在金属靶材外的一个保护圈,它的质量好坏直接关系到靶材的使用效能。从一个最简单的光面环件研发制造起步,汪涛和同事们一起克服重重困难,终于生产出国内第一批半导体8寸线用铝材环件。产品研制成功只是第一步,保证质量才是关键。靶材环件是配合靶材使用的,为了使靶材环件的附着力达到最佳,环件的内外表面一般都有通过“滚花”工艺压出的不同花纹,而这些花纹深度又决定了环件质量的高低。“一开始,我们的花纹深度只能控制在0.2—0.55mm之间,与国外先进企业相比还存在一定的差距。”

  有差距就要迎头赶上。汪涛加入了国家科技重大专项“45-28nm配线用超纯系列溅射靶材开发与产业化”项目的研发工作,主要负责“滚花”技术的研究与开发。“因为工艺复杂,目前,即使是国外老牌生产厂家,靶材环件花纹制造也没能实现自动化。所以,要将花纹深度控制在一个更合理的区间,除了提高操作者的技能外,我们只有在不断改进工艺的同时提高设备装配精度,提高‘滚花’工艺的稳定性。”从2007年至2011年,汪涛和团队成员一起专注于“滚花”工艺的研究与提高,“一个金属环件的成本就要几万元,没有十足的把握我们不会轻易尝试,但也不会因为害怕失败而放弃努力。”从工艺改进到规模化量产,在汪涛和团队成员的共同努力下,江丰电子开发研制了国内首个靶材环件整套生产技术,并建立了稳定的生产线。“现在我们能把花纹深度控制在0.35—0.5mm之间,达到了国际先进水平,满足了各类金属环件的工艺要求。去年,公司出产的各种规格、型号环件就有4000多个,产值超过1亿元,完全实现了国产化。”

  “滚花”工艺的优化、提升是环件制造上一个质的飞跃,但这只是汪涛十几年努力取得的其中一项成果。半导体8寸线用钛环、钽环;12寸线用钛环、钽环、铜环;钽环修复再利用、环件凸台一次成型……这些年,汪涛仅申请的专利就有16项,已授权的有12项。“虽然我们的产品已经处于世界先进水平,但技术的发展没有止境,只有不断完善和优化,才能始终保持领先的地位。”汪涛并不满足于此,为了提高自身素质和专业技能,在忙碌的工作之余,他考取了大专文凭,现在又在攻读浙江工业大学的本科学历。

  去年,江丰电子的环件生产有两项关键加工工艺改进技术获得了突破,其中“Ta板条材料工艺优化”项目获得了宁波市职工技术创新优秀成果奖三等奖,这项技术就是由汪涛主导完成的。“目前,国际上通用的靶材环件厚度是3.18mm,但最初,受加工工艺技术的限制,公司制作环件用的各类金属板条厚度达4.18mm。”汪涛介绍说,“在通过卷圆工艺把板条变成环件前,这多出来的1mm,以前都是直接通过圆弧铣削去除的,原材料浪费严重。”有缺陷就意味着存在改进、提升的空间。汪涛带领团队成员,从设计新工艺、调试新程序、优化设备工装,到制作刀具,一次次地反复练习验证,一次次地完成数据收集分析,最终成功地将板材厚度精准地控制为3.18mm。


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